ダミー・モニター用
シリコンウエーハの販売
標準的なCZ法により製造されたシリコンウエーハを原則として販売していますが、ダミー、モニターの定義は次の通りです。
<ダミー、モニターの区別>
●ダミーウエーハ
口径、厚さ以外のスペックは不問、又、ダスト不問か、ダストフリーはご指定ください。
(ウエーハ特性は納品時に表示します。
●モニターウエーハ
別紙仕様明細書にてご指定ください。ただし、比抵抗と厚さの範囲の拡大を極力お願いいたします。 |
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シリコンウエーハの再生加工について
搬送テストに使用されたウエーハ、および工程で発生した不良ウエーハの再生加工は、ケミカルポリッシングのみをほどこす方法と、ラップ、エッチング、ケミカルポリッシングをおこなう方法の2通りがあります。当社で不良状況を検査のうえ、どちらかの方法で処理をいたします。 なお、この再生ウエーハは、バージンウエーハとの比較においては各工程を経るために厚みに若干の変化がみられるものの、パーティクル数、フラットネスは変わりがないため、再度、搬送テストやモニタ用ウエーハとして使用できます。 |