取扱製品のご案内  モニター用ウエーハ、薄膜加工、
Low−k、
Cuメッキ加工、パターニング加工etc・・・・

承ります。

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シリコンウエーハ
  
 モニター用、ダミー用、太陽電池用、
   エピウエーハ、再生、バックラップ加工
   ダイシング加工、各種薄膜成膜加工
   (SiO2、TEOS、RTO、HTO、Si3N4
   SIN、Poly、Al、Al-Si、Al−Si-Cu、Ti、
   TiN、W、Ta、TaN、Cu、Au、Pt、PSG、
   BPSG、SiC、SIOC、SOG、ポリィミド、SION
   FSG、etc、)レジスト、パターニング加工
   (L/S、C/H)、Low-k、ドライエッチング、
   アッシング、CMP加工、CMPスラリー洗浄
   Cuメッキ

シリコンインゴット、電極、フォーカスリング、
  GaAs、セラミックス


半導体素子(レーザーダイオード、ステム,etc)

電子工業部品(W,Mo,Ta、SUS、カーボン
  石英、etc)


<New> ・・・・> 無機帯電防止剤イオンシャワー

※ お気軽にご相談ください。 (担当:渡辺)      




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